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膜厚仪标准片的作用和选择使用说明
发布时间:2022-09-16   点击次数:400次
  膜厚仪标准片用于测厚仪在测金属镀层厚度的时候进行的标准化校准,这样使用使得测厚仪所测的误差值变小,对于半导体生产行业,电镀行业使用测厚仪所造成的成本检测起到了很重要的作用。标准片一般分为单镀层片,双镀层片、多镀层片、合金镀层片、化学镀层片。
  膜厚仪标准片的两大作用:
  1、用来对膜厚仪工作状态的准确性和稳定性进行校验。在膜厚仪测试过程中对膜厚仪运行过程中,确认工作状态。防止膜厚仪故障状态时能时间确认。
  2、用于X射线测厚仪(膜厚仪)在测金属镀层厚度时进行的标准化校准及建立测试档案。也就是我们在膜厚测试中常用的标准曲线法,是测量已知厚度或组成的标准样品,根据荧光X-射线的能量强度及相应镀层厚度的对应关系,来得到标准曲线。之后以此标准曲线来测量未知样品,以得到镀层厚度或组成比率。对于PCB、五金电镀和半导体等行业使用测厚仪来检测品质和控制成本起到了很重要的作用。
  膜厚仪标准片的使用和选择:
  厚度由X射线吸收方法或比率方法确定,则厚度标准块的基体应与被测试样的基体具有相同的X射线发射特性,通过比较被测试样与校正参考标准块的未镀基体所选的特征辐射的强度,然后通过软件达到对仪器的校正。
  可用标准块的单位面积厚度单位校准仪器,厚度值必须伴随着覆盖层材料的密度来校正。标准片应与被测试样具有相同的覆盖层和基体材料,但对试样基材为合金成分的,有些仪器软件允许标样基材可与被测试样基材不同,但前提是标准块基体材料与试样基材中的主元素相同。
  膜厚仪标准片在使用时选择适当的标准厚度块对仪器进行示值校正,选择一块合适和一块为仪器测量上限1/2的标准厚度块作仪器高低两端的示值校正。测量范围分为若干档的仪器,其示值校正应在每档分别进行。
深圳市创思达科技有限公司(www.szmilum.com)主营mm610孔铜测厚仪,mm615面铜测厚仪,mm805铜厚测量仪等产品
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